| 微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究. |
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| 引用本文： | 史新伟,李杏瑞,王新昌,程春晓,柴士磊. 微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究.[J]. 真空, 2009, 46(6) |
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| 作者姓名： | 史新伟 李杏瑞 王新昌 程春晓 柴士磊 |
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| 作者单位： | 史新伟,王新昌,程春晓,柴士磊(郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052);李杏瑞(郑州大学材料科学与工程学院,河南,郑州,450001) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(No.50702051):河南省科技项关项目，郑州大学校内教育基金 |
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| 摘 要： | ![]()
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在铜衬底上沉积了微米和纳米两种金刚石薄膜,过渡层均为钛一铝一钼.用场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜的表面及断面形貌,用拉曼(Raman)光谱测量所得金刚石薄膜的质量,利用压痕法测试了所得薄膜的附着性能,研究结果表明:过渡层可有效提高微米金刚石薄膜在铜衬底上的附着力,反应气氛中Ar的存在可促使纳米金刚石薄膜的形成,改善薄膜表面的粗糙度.
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| 关 键 词： | 过渡层 金刚石薄膜 铜衬底 附着力 |
Deposition of micro/nano diamond films and their properties |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | |
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