|
|||||
|
|
| X射线在超晶格材料衍射中的相干性分析 | |
| 引用本文： | 马永强,武一宾,杨瑞霞,李若凡,商耀辉,牛晨亮,卜夏正,王建峰.X射线在超晶格材料衍射中的相干性分析[J].半导体技术,2007,32(12):1042-1044. |
| 作者姓名： | 马永强 武一宾 杨瑞霞 李若凡 商耀辉 牛晨亮 卜夏正 王建峰 |
| 作者单位： | 1. 河北工程大学,河北,邯郸,056038;中国电子科技集团公司,第十三研究所,石家庄,050051;河北工业大学,天津,300130 2. 中国电子科技集团公司,第十三研究所,石家庄,050051 3. 河北工业大学,天津,300130 4. 中国电子科技集团公司,第十三研究所,石家庄,050051;河北工业大学,天津,300130 |
| 基金项目： | 国防科技应用基础研究基金 , 总装备部科研项目 |
| 摘 要： | X射线双晶衍射仪系统中受参考晶体分辨率等因素的影响,X射线的相干长度不超过1 μm.X射线在异质外延晶体材料内衍射时,不超过相干长度范围内厚度外延层中的衍射波会产生相干叠加,否则,产生非相干叠加.分子束外延(MBE)生长了短周期InGaAs/GaAs超晶格,在其摇摆曲线中观察到显示X射线在超晶格结构中衍射相干特征的多级卫星峰及Pendell(o)song干涉条纹,并利用相干光理论对超晶格结构信息诸如周期及"0"级峰位置等进行了分析. |
| 关 键 词： | 超晶格 分子束外延 X射线双晶衍射 相干长度 |
| 文章编号： | 1003-353X(2007)12-1042-03 |
| 修稿时间： | 2007年7月11日 |
Coherent Analysis of X-Ray Diffraction on Superlattice Material |
|
| MA Yong-qiang,WU Yi-bin,YANG Rui-xia,LI Ruo-fan,SHANG Yao-hui,NIU Chen-liang,BU Xia-zheng,WANG Jian-feng.Coherent Analysis of X-Ray Diffraction on Superlattice Material[J].Semiconductor Technology,2007,32(12):1042-1044. | |
| Authors: | MA Yong-qiang WU Yi-bin YANG Rui-xia LI Ruo-fan SHANG Yao-hui NIU Chen-liang BU Xia-zheng WANG Jian-feng |
| Abstract: | |
| Keywords: | superlattice MBE X-ray double crystal diffraction coherence length |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |