| PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究 |
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| 引用本文： | 林州,任天令,赵宏锦,刘理天.PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究[J].压电与声光,2001,23(5):397-401. |
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| 作者姓名： | 林州 任天令 赵宏锦 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所, |
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| 基金项目： | “九七三”国家重大基金研究项目(1999033105) |
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| 摘 要： | 采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅（PZT）薄膜，进行了相应的工艺分析。设计并仿真了平面光子带隙（UCPBG）结构，测试了结构的电磁参数，证实了结构的可行性，在此基础上提出了一种基于PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频（RF）天线结构与工艺设计。
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| 关 键 词： | 丝网印刷 锆钛酸铅 射频天线 PZT厚膜 UCPBG结构 |
| 文章编号： | 1004-2474(2001)05-0397-05 |
| 修稿时间： | 2001年3月16日 |
Study of PZT Thick Film and UCPBG Based RF-antenna |
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| LIN Zhou,REN Tian lin,ZHAO Hong jin,LIU Li tian.Study of PZT Thick Film and UCPBG Based RF-antenna[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2001,23(5):397-401. |
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| Authors: | LIN Zhou REN Tian lin ZHAO Hong jin LIU Li tian |
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| Abstract: | Lead zirconate titanate(PZT)thick film is fabricated upon silicon substrate by using the screen printing technology.The experiment result is analyzed.UCPBG(uniplanar compact photonic bandgap)structure is designed and simulated.The electromagnetic parameters of the structure are tested to certify the correctness of the algorithm.The structure and technology design of a PZT thick film and UCPBG based miniature radio frequency antenna is brought out. |
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| Keywords: | screen printing lead zirconate titanate(PZT) UCPBG(uniplanar compact photonic bandgap) radio frequency antenna |
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