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CVD金刚石薄膜涂层刀具的技术进展
引用本文:颜认,陈枫,陈小丹,周一丹. CVD金刚石薄膜涂层刀具的技术进展[J]. 机械设计与制造工程, 2016, 0(8): 11-15. DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2016.08.002
作者姓名:颜认  陈枫  陈小丹  周一丹
作者单位:南通大学机械工程学院,江苏南通,226019
摘    要:简要介绍了化学气相沉积金刚石刀具的涂层材料及制备技术的研究开发现状,总结了当前可以有效提高金刚石涂层刀具膜/基结合强度的措施和方法,分析了化学气相沉积金刚石涂层刀具各种表面抛光工艺的优缺点,最后展望了化学气相沉积金刚石薄膜涂层刀具技术的发展趋势.

关 键 词:化学气相沉积  金刚石薄膜  涂层刀具  技术进展

Technical development of CVD diamond film coated tools
Abstract:
Keywords:chemical vapor deposition (CVD)  diamond film  coated tools  technical development
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