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| 机械法研磨CVD金刚石厚膜 | |
| 引用本文： | 王俊峰,汪建华. 机械法研磨CVD金刚石厚膜[J]. 武汉工程大学学报, 2005, 27(5) |
| 作者姓名： | 王俊峰 汪建华 |
| 摘 要： | 柱状生长的CVD金刚石膜生长面非常粗糙,并且粗糙度随着膜厚的增加而增加,限制了它的应用,必须对其抛光.本文采用了机械研磨法来研磨CVD金刚石厚膜,研磨速率达6.1 μm /h,厚度去除了36.9 μm,粗糙度Ra从5.9 μm降至0.19 μm. |
| 关 键 词： | 金刚石膜 化学气相沉积 机械研磨 |
Mechanical lapping thick CVD diamond films |
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| WANG Jun-feng,WANG Jian-hua. Mechanical lapping thick CVD diamond films[J]. Journal of Wuhan Institute of Chemical Technology, 2005, 27(5) | |
| Authors: | WANG Jun-feng WANG Jian-hua |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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