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台积电谈有关28nm工艺良率问题
作者姓名:吴琪乐
摘    要:
正台积电(TSMC)日前回应了稍早前分析师指称该公司28nm CMOS工艺存在着良率问题的说法。台积电欧洲公司总裁Maria Marced重申她与其他台积电高层之前所强调的:减少28nm节点的缺陷密度一直在掌握中,以量产进度来看甚至快于40/45nm工艺技术。

关 键 词:工艺节点  缺陷密度  问题  晶圆  迎接挑战  技术发展趋势  设计  定案  工艺技术  销售额
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