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| 基于摩擦纳米发电机的自驱动自清洁雨量传感器 | |
| 作者姓名： | 季喜军 熊枫 石树正 王占英 |
| 摘 要： | 为降低新能源汽车雨量监测系统功耗,提出基于摩擦纳米发电机(TENG)的自驱动、自清洁雨量传感器.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备了具有微纳阵列结构的硅片模板,实现了微纳结构柔性转移.基于表面具有金字塔微结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜构建了单电极模式TENG,研究了不同表面形貌对传感器输出性能的影响.利用雨量... |
| 关 键 词： | 雨量传感器 摩擦纳米发电机(TENG) 微电子机械系统(MEMS) 新能源汽车 微纳结构 |