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超纯硅制备工艺中杂质行为的探讨
引用本文:
王作民.超纯硅制备工艺中杂质行为的探讨[J].上海有色金属,1983(2).
作者姓名:
王作民
作者单位:
上海第二冶炼厂
摘 要:
根据超纯硅生产和实验中观察到的各种现象及大量实验数据的统计、归纳和分析,揭示了在超纯硅制备工艺中杂质的分布规律,以及它们在过程中的存在形态和行为。特别是对硅材料界一直引起争议的杂质硼在过程中的存在形态和行为提出了初步见解。
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