| 采用DMD并行输入的激光干涉直写方法 |
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| 引用本文： | 吴智华,周小红,魏国军,邵洁,陈林森.采用DMD并行输入的激光干涉直写方法[J].激光与红外,2008,38(5):424-428. |
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| 作者姓名： | 吴智华 周小红 魏国军 邵洁 陈林森 |
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| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州,215006 |
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| 摘 要： | 基于HoloMaker-Ⅳ激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device, DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻.通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理.为高效率制作高品质光变图像提供了新方法.实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍.给出了高质量的实验结果.
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| 关 键 词： | 并行激光直写 图像处理软件 数字光变图像 |
| 文章编号： | 1001-5078(2008)05-0424-05 |
| 修稿时间： | 2007年10月28 |
A Way of Parallel Interferential Laser Direct Writing With DMD |
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| WU Zhi-hu,ZHOU Xiao-hong,WEI Guo-jun,SHAO Jie,CHEN Lin-sen.A Way of Parallel Interferential Laser Direct Writing With DMD[J].Laser & Infrared,2008,38(5):424-428. |
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| Authors: | WU Zhi-hu ZHOU Xiao-hong WEI Guo-jun SHAO Jie CHEN Lin-sen |
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| Affiliation: | Institute of Information Optical Engineering,Soochow University,Suzhou 215006,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | parallel laser direct writing image processing software optical variable device (OVD) |
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