| 铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究 |
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| 引用本文： | 张化福,刘汉法,袁长坤,类成新. 铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究[J]. 真空科学与技术学报, 2010, 30(3). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.03.19 |
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| 作者姓名： | 张化福 刘汉法 袁长坤 类成新 |
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| 作者单位： | 山东理工大学理学院,淄博,255049 |
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| 摘 要： | 利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大。扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究结果表明,ZAZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当溅射功率为120 W时,薄膜的电阻率达到最小值5.28×10-4Ω.cm,其可见光区平均透过率超过94%。
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| 关 键 词： | 铝锆共掺杂氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 溅射功率 光电性能 |
Low Temperature Growth and Properties of Al-Zr Co-Doped ZnO Films |
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| Zhang Huafu,Liu Hanfa,Yuan Changkun,Lei Chengxin. Low Temperature Growth and Properties of Al-Zr Co-Doped ZnO Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2010, 30(3). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.03.19 |
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| Authors: | Zhang Huafu Liu Hanfa Yuan Changkun Lei Chengxin |
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