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| 氦质谱检漏仪的进展及应用 | |
| 作者单位： | 中国科学院北京科学仪器研制中心 |
| 摘 要： | 1 氦质谱检漏仪的进展经过近半个世纪的努力,氦质谱检漏仪取得了很大的进步,集中体现在如下几个方面。(1)便携式 小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏 如日本的仪器以及中科院科仪中心的ＺＱＪ230Ｇ型仪器,检漏口压强可高达数百帕,有利于检测大系统和有大漏孔的工件。(3)自动化程度高 中科院科仪中心的ＺＱＪ291型仪器,自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次全检漏过程。(4)全无油的干… |
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