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| 统计过程控制技术在印刷工序的应用 | |
| 引用本文： | 廉大桢,刘军.统计过程控制技术在印刷工序的应用[J].混合微电子技术,2007,18(3):41-44. |
| 作者姓名： | 廉大桢 刘军 |
| 作者单位： | 陕西华经微电子股份有限公司,西安710065 |
| 摘 要： | 本文从厚膜混合集成电路生产线应用统计过程控制（SPC）技术的需求、意义、实施方案等入手，结合厚膜混合集成电路的工艺特点，给出厚膜混合集成电路印刷工序应用SPC技术的方法。 |
| 关 键 词： | 厚膜混合集成电路 SPC 印刷工序 |
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