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| 衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响 | |
| 引用本文： | 王丽丽,王欣,宫杰,郑伟涛,宗占国. 衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响[J]. 中国有色金属学报, 2005, 15(11): 1838-1842 |
| 作者姓名： | 王丽丽 王欣 宫杰 郑伟涛 宗占国 |
| 作者单位： | 1. 长春大学,应用物理研究所,长春,130022;吉林大学,材料科学与工程学院,吉林大学汽车材料教育部重点实验室,长春,130012 2. 吉林大学,材料科学与工程学院,吉林大学汽车材料教育部重点实验室,长春,130012 3. 长春大学,应用物理研究所,长春,130022 |
| 摘 要： | 采用直流磁控溅射方法,以Ar和N2作为放电气体,在单晶Si(100)衬底上沉积了Fe-N薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)和超导量子干涉仪(SQUIDS)对所制备的样品进行了结构、成分、形貌和磁性能分析,研究了衬底温度对薄膜的结构、形貌和磁性能的影响.结果表明:衬底温度对Fe-N薄膜的结构有重要的影响,通过控制衬底温度可以获得单相γ′-Fe4N化合物薄膜;γ′-Fe4N具有较高的饱和磁化强度,是非常有应用前景的磁记录介质及磁头功能材料. |
| 关 键 词： | Fe-N薄膜 衬底温度 磁性能 |
| 文章编号： | 1004-0609（2005）11-1838-05 |
| 收稿时间： | 2005-07-15 |
| 修稿时间： | 2005-08-20 |
Effects of substrate temperature on structure, morphology and magnetic properties of Fe-N thin films |
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| WANG Li-li,WANG Xin,GONG Jie,ZHENG Wei-tao,ZONG Zhan-guo. Effects of substrate temperature on structure, morphology and magnetic properties of Fe-N thin films[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2005, 15(11): 1838-1842 | |
| Authors: | WANG Li-li WANG Xin GONG Jie ZHENG Wei-tao ZONG Zhan-guo |
| Abstract: | |
| Keywords: | Fe-N thin films substrate temperature magnetic properties |
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