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| 基于电容器的压力微传感器的研制 | |
| 作者姓名： | 邓永和 王冬青 曾庆丰 |
| 作者单位： | 湖南工程学院数理系,湖南,湘潭,411100;贵州工业大学基础部,贵阳,550003 |
| 摘 要： | 介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计,主要分析了其工作原理,论证了测量电路的可行性.最后提供了实验数据并和理论值进行了比较,讨论了产生误差的原因. |
| 关 键 词： | 电容 压力微传感器 测量电路 实验 |
| 文章编号： | 1004-1699(2004)02-0329-02 |
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