| 基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器 |
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| 引用本文： | 郑富中,吴英,张杰,杨兴.基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器[J].传感技术学报,2019,32(7):1009-1015. |
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| 作者姓名： | 郑富中 吴英 张杰 杨兴 |
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| 作者单位： | 四川轻化工大学机械工程学院,四川 自贡643000;清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;重庆科技学院智能技术与工程学院,重庆,401331;清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 四川省重点实验室开放基金项目(2018CL03)、北京市国家自然科学基金项目(L172040)、重庆市基础科学与前沿技术研究专项项目(cstc2018jAX0519) |
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| 摘 要： | 一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性。最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试。结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15%RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16%。上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。
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| 关 键 词： | 柔性传感器 单壁碳纳米管 介电电泳 区域选择性电沉积Au |
Piezoresistive Flexible Sensor Based on Single-Walled Carbon Nanotubes |
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| ZHENG Fuzhong,WU Ying,ZHANG Jie,YANG Xing.Piezoresistive Flexible Sensor Based on Single-Walled Carbon Nanotubes[J].Journal of Transduction Technology,2019,32(7):1009-1015. |
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| Authors: | ZHENG Fuzhong WU Ying ZHANG Jie YANG Xing |
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| Affiliation: | (College of Mechanical Engineering,Sichuan University of Science & Engineering,Zigong Sichun 643000,China;The State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments,Department of Precision Instrument, Tsinghua University,Beijing 100084,China;School of Intelligent Technology & Engineering,Chongqing University of Science & Technology,Chongqing 401331,China) |
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| Abstract: | ZHENG Fuzhong;WU Ying;ZHANG Jie;YANG Xing(College of Mechanical Engineering,Sichuan University of Science & Engineering,Zigong Sichun 643000,China;The State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments,Department of Precision Instrument, Tsinghua University,Beijing 100084,China;School of Intelligent Technology & Engineering,Chongqing University of Science & Technology,Chongqing 401331,China) |
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| Keywords: | dielectrophoresis regional selective electrodeposition flexible sensor single-walled carbon nanotubes |
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