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| 基于谐振原理的硅微机械加速度计 | |
| 引用本文： | 贾玉斌,郝一龙,钟莹,张嵘.基于谐振原理的硅微机械加速度计[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 贾玉斌 郝一龙 钟莹 张嵘 |
| 摘 要： | 基于力学振动原理,导出敏感梁类谐振振动的微分方程,给出了振梁型加速度计的设计原理.指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关;为避免输出非线性频率信号,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大. |
| 关 键 词： | 加速度计 类谐振器 非线性 |
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