|
|||||
|
|
| 不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性 | |
| 引用本文： | 李豪,易葵,崔云,范正修.不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性[J].中国激光,2014(7). |
| 作者姓名： | 李豪 易葵 崔云 范正修 |
| 作者单位： | 中国科学院上海精密机械研究所;中国科学院大学; |
| 摘 要： | 研究了SiO2薄膜的微结构与水吸收特性之间的内在联系,分别在Si、Al2O3和JGS3基底应用电子束蒸发沉积SiO2薄膜。实验用原位傅里叶红外漫反射光谱(in-situ DRIFTS)检测薄膜水吸收特性,并结合原子力显微镜(AFM)进行微结构分析。实验发现:常温吸附状态时,薄膜表面的孔隙数目越多,SiO2薄膜水吸收量越大;薄膜表面粗糙度影响薄膜水吸收特性;升温过程薄膜出现退吸附现象以及蓝移效应。 |
| 关 键 词： | 薄膜 SiO薄膜 水吸收特性 红外漫反射光谱 原子力量微镜分析 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |