| (Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析 |
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| 引用本文： | 刘世建,徐重阳,曾祥斌.(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析[J].电子元件与材料,2001,20(4):5-6. |
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| 作者姓名： | 刘世建 徐重阳 曾祥斌 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系, |
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| 基金项目： | 国防科技电子预研基金资助项目(99J2.2.4JW.0512) |
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| 摘 要： | 探讨了射频磁控溅射利用（Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的烧结工艺，并用电子探针和X射线粉晶衍射法对其成分和微观结构进行了分析。结果表明，9001－1000℃烧结出的（Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶在组织结构及成分均匀性，致密度和强度方面都符合射频磁控溅射的实际要求。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡陶瓷靶 烧结工艺 射频磁控溅射 微观结构 |
| 文章编号： | 1001-2028(2001)04-0005-02 |
| 修稿时间： | 2001年1月16日 |
Preparation of (Ba0.67, Sr0.33) TiO3 Target and Its microstructure |
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