| 一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计 |
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| 引用本文： | 明亮,汪银年,王家光,张福学.一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计[J].北京机械工业学院学报,2006,21(4):20-25. |
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| 作者姓名： | 明亮 汪银年 王家光 张福学 |
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| 作者单位： | 北京信息工程学院传感技术研究中心 北京100101 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京市重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 微弱输出信号的检测是微机械陀螺接口电路设计中的关键技术.针对旋转载体驱动硅微机械陀螺的振动特性,给出了一种适用于微弱电容变化量的小信号检测电路.信号经过差分放大之后,设计了一种适合该陀螺特点的带通滤波器,并对该电路的幅频特性和相频特性进行了分析.实验结果表明,该电路能有效敏感电容变化量,陀螺接口电路能检测到10-3pF量级的电容变化,最小分辨率可以达到0.1°/s.
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| 关 键 词： | 硅微机械陀螺 差动电容 频率特性 |
| 文章编号： | 1008-1658（2006）04-0020-06 |
| 收稿时间： | 2006-09-28 |
| 修稿时间： | 2006年9月28日 |
Design of a signal detection circuit of silicon micromachined gyroscope |
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| MING Liang,WANG Yin-nian,WANG Jia-guang,ZANG Fu-xue.Design of a signal detection circuit of silicon micromachined gyroscope[J].Journal of Beijing Institute of Machinery,2006,21(4):20-25. |
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| Authors: | MING Liang WANG Yin-nian WANG Jia-guang ZANG Fu-xue |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon micromachined gyroscope differential capacitance frequency characteristics |
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