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聚合物共面波导行波电极电光调制器
引用本文:陈旺,梁琨,吴伯瑜,高逸,田凤军,罗淑云,殷建军,叶钢.聚合物共面波导行波电极电光调制器[J].光电子.激光,2006,17(6):645-649.
作者姓名:陈旺  梁琨  吴伯瑜  高逸  田凤军  罗淑云  殷建军  叶钢
作者单位:清华大学电子工程系,北京,100084;清华大学化学工程系,北京,100084
基金项目:高比容电子铝箔的研究开发与应用项目;清华大学校科研和教改项目
摘    要:用聚合物材料BPAN-NT设计并初步成功制作了共面波导(CPW)行波电极电光调制器。用反应离子刻蚀(RIE)的方法制作脊波导,通过电晕极化使芯层有电光效应,利用电镀方法制作厚行波电极。对调制器的各项特性参数进行了测试,测得调制器的微波损耗系数0α=0.9 dB/cm.(GHz)1/2、在1.317μm波长上Vπ=250 V,由此算得芯层材料的电光系数3γ3=3.7 pm/V,同时测得消光比为13.49dB、插入损耗为18.6 dB,在8 GHz的微波频率上观察到了调制光信号,理论计算3 dB光调制带宽为43.77 GHz。

关 键 词:聚合物  电光调制器  共面波导(CPW)行波电极  半波电压  微波特性
文章编号:1005-0086(2006)06-0645-05
收稿时间:2005-08-27
修稿时间:2005-08-272005-12-08

Polymeric Electro-optic Modulators with Coplanar Waveguide Traveling-wave Electrode
CHEN Wang,LIANG Kun,WU Bo-yu,GAO Yi,TIAN Feng-jun,LUO Shu-yun,YIN Jian-jun,YE Gang.Polymeric Electro-optic Modulators with Coplanar Waveguide Traveling-wave Electrode[J].Journal of Optoelectronics·laser,2006,17(6):645-649.
Authors:CHEN Wang  LIANG Kun  WU Bo-yu  GAO Yi  TIAN Feng-jun  LUO Shu-yun  YIN Jian-jun  YE Gang
Abstract:
Keywords:polymer  electro-optic modulator  coplanar waveguide(CPW) traveling-wave electrode  half-wave voltage  microwave performance
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