| 射频等离子体沉积非晶碳氢薄膜及其阻隔性能 |
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| 引用本文： | 张跃飞,张广秋,葛袁静,陈光良,王瑜.射频等离子体沉积非晶碳氢薄膜及其阻隔性能[J].包装工程,2004,25(4):177-180. |
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| 作者姓名： | 张跃飞 张广秋 葛袁静 陈光良 王瑜 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院,北京,02600 |
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| 基金项目： | 北京市优秀人才培养基金 |
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| 摘 要： | 采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积系统,,以甲烷和氩气作为工作气体在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)片和玻璃片基上沉积了非晶碳氢薄膜,利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)对碳氢薄膜的结构进行研究,并且通过透水蒸汽相对比较实验检测了PET上沉积碳氢膜的阻隔性能,详细讨论了沉积工艺参数对碳氢薄膜结构和阻隔性能的影响.实验结果证明,沉积的薄膜越厚,碳氢膜的含量越高,阻隔性能越好,沉积碳氢膜的PET阻隔性比原始PET都有明显提高,当膜厚达900nm时,阻水蒸汽透过率可提高7倍.
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| 关 键 词： | 等离子体化学气相沉积 碳氢膜 阻隔性能 |
| 文章编号： | 1001-3563(2004)04-0177-04 |
| 修稿时间： | 2004年6月28日 |
Gas Barrier Properties of Amorphous Hydrogenated Carbon Films by Plasma -enhanced CVD |
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| ZHANG Yue-fei,ZHANG Guang-qiu,GE Yuan-jing,CHEN Guang-liang,WANG Yu.Gas Barrier Properties of Amorphous Hydrogenated Carbon Films by Plasma -enhanced CVD[J].Packaging Engineering,2004,25(4):177-180. |
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| Authors: | ZHANG Yue-fei ZHANG Guang-qiu GE Yuan-jing CHEN Guang-liang WANG Yu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Plasma-enhanced chemical vapor deposition Hydrogenated carbon films Barrier properties |
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