| MEMS流体陀螺的研究进展 |
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| 引用本文： | 秦奎,张卫平,陈文元. MEMS流体陀螺的研究进展[J]. 现代电子技术, 2010, 33(10): 172-174 |
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| 作者姓名： | 秦奎 张卫平 陈文元 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市人才发展资金项目 |
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| 摘 要： | 随着微机电技术（MEMS）的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和超流体陀螺,气体对流陀螺和射流微陀螺属于常用的典型流体陀螺,而ECF流体陀螺和超流体陀螺属于新型的流体陀螺,分别分析了它们的原理和应用情况,并对它们的应用前景进行了展望,微流体陀螺将在惯性导航和自动控制等方面发挥越来越重要的作用。
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| 关 键 词： | MEMS技术 惯性器件 微流体陀螺 惯性导航 |
Research Progress of MEMS Fluid Gyroscope |
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| QIN Kui,ZHANG Wei-ping,CHEN Wen-yuan. Research Progress of MEMS Fluid Gyroscope[J]. Modern Electronic Technique, 2010, 33(10): 172-174 |
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| Authors: | QIN Kui ZHANG Wei-ping CHEN Wen-yuan |
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| Affiliation: | QIN Kui,ZHANG Wei-ping,CHEN Wen-yuan (National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology,Key Laboratory for Thin Film , Microfabrication of Ministry of Education,Institute of Micro , Nano Science , Technology,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240,China) |
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| Abstract: | micro-gyroscope inertial devices have a wide range of development and application,with the rapid development of technology of micro electro mechanical systems,in which micro-fluid gyroscope with small size,light weight,low cost,high impact resistance and other unique advantages.According to the different principles,several typical micro-fluid gyroscope are introduced,including gas convection micro-gyroscope,jet micro-gyroscope,ECF micro-fluid and super-fluid gyroscope,in which gas convection micro-gyroscope... |
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| Keywords: | MEMS technology inertial devices micro-fluid gyroscope inertial navigation |
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