|
|||||
|
|
| 化学气相沉积法多晶硅生产工艺的研究 | |
| 引用本文： | 田新衍,王建鑫.化学气相沉积法多晶硅生产工艺的研究[J].广州化工,2014(13). |
| 作者姓名： | 田新衍 王建鑫 |
| 作者单位： | 江西赛维LDK光伏硅科技有限公司; |
| 摘 要： | 对化学气相沉积法生产多晶硅的工艺进行了研究。多晶硅生产过程中的温度、流量、压力、物料摩尔比、进料气体分布以及操作安全性是影响多晶硅生产的重要因素,通过生产过程的研究和总结,实现了相关参数控制和安全性的优化,为企业带来了可观效益。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 化学气相沉积 工艺控制 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |