AIGaN紫外光电导探测器的研究 |
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引用本文: | 王峰祥,郝跃. AIGaN紫外光电导探测器的研究[J]. 现代电子技术, 2004, 27(6): 1-2 |
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作者姓名: | 王峰祥 郝跃 |
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作者单位: | 西安电子科技大学,微电子研究所,陕西,西安,710071 |
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基金项目: | 国防预研基金(41308060106) |
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摘 要: | 在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了未掺杂的Al0.15Ga0.85N外延层,并以此为材料制作了光电导探测器,实验发现探测器具有显著的紫外光响应.分析了探测器持续光电导效应(PPC)的产生机理.
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关 键 词: | AlGaN 光电导探测器 紫外光 PPC |
文章编号: | 1004-373X(2004)06-001-02 |
修稿时间: | 2003-11-19 |
Study of AIGaN Ultraviolet Photoconductive Detector |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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