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AIGaN紫外光电导探测器的研究
引用本文:王峰祥,郝跃. AIGaN紫外光电导探测器的研究[J]. 现代电子技术, 2004, 27(6): 1-2
作者姓名:王峰祥  郝跃
作者单位:西安电子科技大学,微电子研究所,陕西,西安,710071
基金项目:国防预研基金(41308060106)
摘    要:在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了未掺杂的Al0.15Ga0.85N外延层,并以此为材料制作了光电导探测器,实验发现探测器具有显著的紫外光响应.分析了探测器持续光电导效应(PPC)的产生机理.

关 键 词:AlGaN  光电导探测器  紫外光  PPC
文章编号:1004-373X(2004)06-001-02
修稿时间:2003-11-19

Study of AIGaN Ultraviolet Photoconductive Detector
Abstract:
Keywords:
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