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| 全硅集成光学—理论与工艺（Ⅶ）（续六）：第七讲 硅分支波导 | |
| 引用本文： | 赵策洲.全硅集成光学—理论与工艺（Ⅶ）（续六）：第七讲 硅分支波导[J].半导体光电,1995,16(4):370-383. |
| 作者姓名： | 赵策洲 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子所 |
| 摘 要： | 全硅集成光学──理论与工艺（Ⅶ）（续六）第七讲硅分支波导赵策洲（副教授）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言硅分支波导起到了光功率的传输和分割作用。它是硅耦合器和硅电光开关的重要组成部分。硅分支波导分支角的大小决定了它的功能和作用。尽... |
| 关 键 词： | 硅 波导 集成光学 |
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