| Al2O3陶瓷上金刚石膜生长工艺优化及α粒子响应 |
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| 引用本文： | 楼燕燕,王林军,张明龙,顾蓓蓓,苏青峰,夏义本燕,夏义本.Al2O3陶瓷上金刚石膜生长工艺优化及α粒子响应[J].半导体学报,2005,26(4):740-744. |
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| 作者姓名： | 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本燕 夏义本 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院 上海200072
(楼燕燕，王林军，张明龙，顾蓓蓓，苏青峰)，上海大学材料科学与工程学院 上海200072(夏义本) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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上海市青年科技启明星计划
,
上海市应用材料研究与发展基金 |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法在氧化铝陶瓷衬底上沉积金刚石膜，并制作梳状电极的α粒子探测器．通过优化薄膜生长条件，发现酒精浓度为0.8%、沉积温度为850℃时，金刚石薄膜的介电常数最接近单晶金刚石膜，X射线衍射、喇曼光谱及扫描电子显微镜测试表明金刚石膜的质量较好.探测器的I-V测试结果表明暗电流在1e－8～1e－7A之间，α粒子（241Am 5.5MeV）辐照下电流为1e－5～1e－4A．
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| 关 键 词： | 粒子探测器 金刚石 介电系数 氧化铝 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)04-0740-05 |
| 修稿时间： | 2004年4月21日 |
Optimization for Growth of CVD Diamond on Al2O3 and Response to Alpha Particle Irradiation |
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| Lou Yanyan,Wang Linjun,Zhang Minglong,Gu Beibei,Su Qingfeng,XIA Yiben.Optimization for Growth of CVD Diamond on Al2O3 and Response to Alpha Particle Irradiation[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(4):740-744. |
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| Authors: | Lou Yanyan Wang Linjun Zhang Minglong Gu Beibei Su Qingfeng XIA Yiben |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | particle detector diamond dielectric coefficient Al_2O_3 |
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