碲锌镉晶片的X射线貌相研究

X射线貌相测试是一种针对样品晶体结构完整性的非破坏性检测手段。通过高分辨率数字式X射线形貌仪对碲锌镉(111)晶片表层进行貌相测试,通过缺陷形式及密度来评价碲锌镉晶体质量。经过大量数据分析统计出5种常见于碲锌镉晶体中的缺陷：划痕、空洞、小角晶界、孪晶和杂晶。结合具体工艺阐述和分析了5类缺陷的形成原因,并针对碲锌镉晶体生长和加工工艺提出了建设性意见。这有利于获取高质量衬底材料,进而提升外延碲镉汞膜的质量。