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| MeV离子辐照引起薄膜附着力的增强：阈剂量随界面原子化学结合能… | |
| 引用本文： | 杨得全,范垂祯.MeV离子辐照引起薄膜附着力的增强：阈剂量随界面原子化学结合能…[J].真空科学与技术,1993,13(4):259-262. |
| 作者姓名： | 杨得全 范垂祯 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 薄膜 高能离子 辐照 化学结合能 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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