| 新型三维微动台的设计与试验分析 |
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| 引用本文： | 巩娟,李庆祥,李玉和. 新型三维微动台的设计与试验分析[J]. 现代制造工程, 2005, 0(2): 115-117 |
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| 作者姓名： | 巩娟 李庆祥 李玉和 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械系,100084;清华大学精密仪器与机械系,100084;清华大学精密仪器与机械系,100084 |
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| 摘 要： | 研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构。该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位。 分析所采用的直圆柔性铰链的参数变化对其造成的性能影响;提出一种新型柔性铰链结构,利用有限元分析软件AN SYS对这种新型结构进行理论分析和试验测试。试验表明:采用这种柔性铰链结构的微动台刚度比较小、运动耦合误差 小,定位精度优于±0.01μm。
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| 关 键 词： | 微动台 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 文章编号： | 1671-3133(2005)02-0115-03 |
| 修稿时间： | 2004-10-21 |
Design and experimental study on the 3-DOF micro platform |
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| Gong Juan,Li Qingxiang,Li Yuhe. Design and experimental study on the 3-DOF micro platform[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2005, 0(2): 115-117 |
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| Authors: | Gong Juan Li Qingxiang Li Yuhe |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro platform Flexure hinge PZT |
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