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| 微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性 | |
| 引用本文： | 牟军.微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性[J].仪表技术与传感器,2009(3). |
| 作者姓名： | 牟军 |
| 作者单位： | 杭州照相机械研究所,浙江杭州,310013 |
| 摘 要： | 热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响.通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口. |
| 关 键 词： | 压力传感元件 压力非线性 残余应力 |
Pressure Nonlinearity of Micromachined Pressure Sensors |
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| MU Jan.Pressure Nonlinearity of Micromachined Pressure Sensors[J].Instrument Technique and Sensor,2009(3). | |
| Authors: | MU Jan |
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