| 特种硬质薄膜的抗氧化性研究 |
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| 引用本文： | 孙爱祥,赵广彬,张馨元,蒙志林,栾道成.特种硬质薄膜的抗氧化性研究[J].真空,2011,48(6). |
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| 作者姓名： | 孙爱祥 赵广彬 张馨元 蒙志林 栾道成 |
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| 作者单位： | 西华大学材料科学与工程学院,四川成都,610039 |
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| 基金项目： | "高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项资助，四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助 |
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| 摘 要： | 采用热阴极离子镀膜技术制备了CrNx薄膜.用XRD和XPS对氧化后试样的相结构和成分进行了研究,分析了高温氧化后薄膜的物相、成分变化对薄膜抗氧化性能的影响.结果表明在700℃薄膜中形成了完整的Cr2O3氧化膜,此时薄膜抗氧化性能较佳.
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| 关 键 词： | CrNx薄膜 热阴极离子镀 抗氧化性 XRD XPS |
Study of the oxidation resistance of CrNx hard coating |
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| SUN Ai-xiang,ZHAO Guang-bin,ZHANG Xin-yuan,MENG Zhi-lin,LUAN Dao-cheng.Study of the oxidation resistance of CrNx hard coating[J].Vacuum,2011,48(6). |
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| Authors: | SUN Ai-xiang ZHAO Guang-bin ZHANG Xin-yuan MENG Zhi-lin LUAN Dao-cheng |
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| Affiliation: | SUN Ai-xiang,ZHAO Guang-bin,ZHANG Xin-yuan,MENG Zhi-lin,LUAN Dao-cheng(School of Materials Science and Engineering,Xihua University,Chengdu 610039,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CrNx hard film hot cathode ion plating oxidation resistance XRD XPS |
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