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非晶态Si-H二元合金的红外分析
引用本文:
苏大昭,孙仲林,徐温元.非晶态Si-H二元合金的红外分析[J].贵金属,1981(4).
作者姓名:
苏大昭
孙仲林
徐温元
作者单位:
南开大学物理系,南开大学物理系,南开大学物理系
摘 要:
本文就不同条件下,利用硅烷分解的辉光放电技术,制备了非品态Si-H二元合金.掺入的氢原子与非晶态硅中的悬挂键构成单氢键硅SiH_1、双氢键硅SiH_2、三氢键硅SiH_3.
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