| 一种压阻式三轴加速度传感器的设计 |
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| 引用本文： | 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波.一种压阻式三轴加速度传感器的设计[J].传感技术学报,2006,19(5):2197-2199. |
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| 作者姓名： | 孙剑 赵玉龙 苑国英 蒋庄德 徐敬波 |
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| 作者单位： | 西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部新世纪优秀人才支持计划 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.
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| 关 键 词： | 加速度传感器 压阻效应 SOI MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2197-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
The Design Of A Piezoresistive Three-Axis Accelerometer |
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| Sun Jian,Zhao Yu-long,Yuan Guo-ying,Jiang Zhuang-de,Xu Jing-bo.The Design Of A Piezoresistive Three-Axis Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2197-2199. |
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| Authors: | Sun Jian Zhao Yu-long Yuan Guo-ying Jiang Zhuang-de Xu Jing-bo |
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| Abstract: | The design and fabrication of a piezoresistive three-axis accelerometer based on SOI are prsented. The sensor consists of four vertical cantilever beams with attached masses of inertia.By locating the resistor logically formed the Wheatstone birdge, the sensor can measure the acceleration in three-direction. By analyzed and simulated, the accelerometer can be designed. The fabrication and test are presented. |
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| Keywords: | SOI MEMS |
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