| 微气体传感器结构设计和优化 |
| |
| 引用本文： | 张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光.微气体传感器结构设计和优化[J].传感器与微系统,2013,32(1):128-130. |
| |
| 作者姓名： | 张晓波 陕皓 刘丽 王连元 李守春 王国光 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室,吉林长春,130000 |
| |
| 基金项目： | 吉林省科学技术厅资助项目，吉林省环境保护厅资助项目 |
| |
| 摘 要： | 设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。
|
| 关 键 词： | 气体传感器 微热板 温度分布 ANSYS |
Design and optimization of structure of micro gas sensor |
| |
| ZHANG Xiao-bo
,
SHAN Hao
,
LIU Li
,
WANG Lian-yuan
,
LI Shou-chun
,
WANG Guo-guang.Design and optimization of structure of micro gas sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2013,32(1):128-130. |
| |
| Authors: | ZHANG Xiao-bo SHAN Hao LIU Li WANG Lian-yuan LI Shou-chun WANG Guo-guang |
| |
| Affiliation: | (National Key Laboratory of Superhard Materials,School of Physics,Jilin University,Changchun 130000,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
