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固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究
引用本文:胡宗倩,谢凯,李德湛,程玉龙. 固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究[J]. 材料导报, 2006, 20(Z2): 306-308
作者姓名:胡宗倩  谢凯  李德湛  程玉龙
作者单位:国防科学技术大学航天与材料工程学院,长沙,410073
摘    要:采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.

关 键 词:固态电解质  薄膜  射频磁控溅射

Studies on Preparation and Performance of Solid State Thin Film LiPON Electrolyte
HU Zongqian,XIE Kai,LI Dezhan,CHENG Yulong. Studies on Preparation and Performance of Solid State Thin Film LiPON Electrolyte[J]. Materials Review, 2006, 20(Z2): 306-308
Authors:HU Zongqian  XIE Kai  LI Dezhan  CHENG Yulong
Abstract:
Keywords:LiPON
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