一种微纳多齿谐振光栅偏振分束器

微纳光学器件是光路集成、片上光电转换和检测的重要基础器件，基于硅基微纳多齿谐振光栅，设计了一种高性能的微纳多齿谐振光栅偏振分束器(PBS)，应用光栅对于TE和TM偏振光表现出不同的衍射性质，从而实现偏振分束的目的， 通过严格耦合波理论分析?研究了光栅PBS的性能。结果表明，在1.53 ~ 1.62μｍ(90ｎｍ)的宽带光谱上，该PBS的衍射效率大于97％，消光比(ER)大于16ｄＢ，以及角度带宽为8°等的优越性能。此外，还研究了结构参数对光栅PBS性能的影响，数值分析表明，该装置具有良好的工艺容差，可广泛应用于通信系统的路由和交换设备。