| 一种紧缩型的SOI 3-dB多模干涉耦合器 |
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| 引用本文： | 严清峰,余金中,刘忠立.一种紧缩型的SOI 3-dB多模干涉耦合器[J].半导体学报,2003,24(2). |
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| 作者姓名： | 严清峰 余金中 刘忠立 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
2. 中国科学院半导体研究所,微电子中心,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用线锥形结构,在silicon-on-insulator (SOI)材料上设计并实现了一种新的紧缩型3-dB多模干涉耦合器(MMI).与普通的矩形结构3-dB MMI耦合器相比,该器件长度减少了40%.耦合器输出均衡度为1.3dB,过剩损耗为2.5dB.
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| 关 键 词： | 多模干涉耦合器 线锥形波导 SOI |
Design and Fabrication of Ultracompact 3-dB MMI Coupler in Silicon-on-Insulator |
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| Yan Qingfeng,Yu Jinzhong,Liu Zhongli.Design and Fabrication of Ultracompact 3-dB MMI Coupler in Silicon-on-Insulator[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(2). |
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| Authors: | Yan Qingfeng Yu Jinzhong Liu Zhongli |
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| Abstract: | An ultracompact 3-dB coupler is designed and fabricated in silicon-on-insulator,based on 1×2 line tapered multimode interference (MMI) coupler.Comparing with the conventional straight MMI coupler,the device is ～40% shorter in length.The device exhibits uniformity of 1.3dB and excess loss of 2.5dB. |
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| Keywords: | multimode interference coupler line tapered waveguide silicon-on-insulator |
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