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| 反磁控冷阴极电离真空计特性的实验研究 | |
| 引用本文： | 林立三.反磁控冷阴极电离真空计特性的实验研究[J].真空,1979(2). |
| 作者姓名： | 林立三 |
| 作者单位： | 冶金部钢铁研究院十二室 |
| 摘 要： | 一 引言 由于冷阴极电离真空计没有热丝,不会因为真空系统突然暴露大气而烧毁,规管灵敏度高,测量线路简单,便于操作和维修,能迅速测量及连续指示,适用于记录和自动控制等优点,早已为我国真空冶金工作者所注意,国内许多真空技术工作者也从事过对各种冷规进行比较、分析、创新研究的工作(1),(2),并且在极高真空测量方面用的冷规研究取得了一定的进展(3)。但是,对于量大面广,工业上急需的高真空测量用的冷规,虽然在商品上曾一度出现过,但很快又消失了,至今在国内尚未有一种定型产品。许多工业真空系统,仍然使用玻璃规泡的DL-2型热阴极电离真空… |
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