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高精密仪器平台振动控制的研究现状和发展
引用本文:马小东,张涛.高精密仪器平台振动控制的研究现状和发展[J].装备制造技术,2008(5):119-120.
作者姓名:马小东  张涛
作者单位:1. 河北省遵化市建筑安装工程有限公司,河北,遵化064200
2. 河北省遵化市建筑工程质量监督站,河北,遵化064200
摘    要:对高精密仪器微振动控制技术进行了综合阐述,介绍了振动主动控制技术的发展,评价了主动控制中各种致动器和传感器,重点分析了各种微振动隔振平台的构成和控制效果.

关 键 词:微振动  主动控制  高精密仪器  高精密  仪器平台  振动控制技术  研究  现状  发展  Instrument  Control  Platform  Development  Current  Situation  控制效果  构成  隔振平台  微振动  分析  重点  传感器  致动器  主动控制技术
文章编号:1672-545X(2008)05-0119-02
修稿时间:2008年2月9日

The Research Current Situation and Development of Platform Libration Control in High-accurate Instrument
Authors:MA Xiao-dong  ZHANG Tao
Abstract:
Keywords:
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