一种新型充油压阻高压传感器

本文提出了一种由金属膜片、硅油、压阻敏感元件复合而成的高压传感器新结构,这种结构利用金属膜片的刚度与硅油可压缩性的合理匹配,实现了用普通低量程压阻敏感元件制造高量程压力传感器,二者的量程比可达到10~2～10~3。介绍了该传感器的工作原理、数学模型和设计方法。介绍了一个用2MPa的压阻元件制成300MPa压力传感器原理样机的实例,证明了这种传感器的可行性。最后,对需要继续研究的问题和开发的方向提出了建议。