| 超灵敏度质谱检漏实验的新结果 |
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| 引用本文： | 陈娉,陈旭,金奇计,查良镇.超灵敏度质谱检漏实验的新结果[J].真空,2003(3):38-42. |
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| 作者姓名： | 陈娉 陈旭 金奇计 查良镇 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求 ,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性 ,研制了一套超灵敏度检漏系统。这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成 ,由于采用了现代先进的真空技术 ,仅在几个小时内就可达到 10 - 6 Pa的工作压强。该系统有两种检漏模式 ,累积模式用于漏率小于 5× 10 - 1 2 Pa· m3/s漏孔的检漏 ,更大的漏率则用动态检漏模式。实验结果表明该系统的最小可检漏率可达 1× 10 - 1 5Pa· m3/s。
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| 关 键 词： | 灵敏度 质谱检漏 累积模式 动态模式 气密性 真空系统 质谱检漏仪 |
| 文章编号： | 1002-0322(2003)03-0038-05 |
| 修稿时间： | 2003年2月15日 |
New experimental results of an extra-high sensitive MSLD |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | extra-high sensitive mass spectrometer leak detection (MSLD) accumulation mode dynamicmode |
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