| 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试 |
| |
| 引用本文： | 陈绍凤,夏善红.硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试[J].液晶与显示,2002,17(1):34-38. |
| |
| 作者姓名： | 陈绍凤 夏善红 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 6 9871 0 2 9)，“86 3”计划资助项目 ( 5 1 2 0 5 1 0 0 1 9)，“973”国家重大课题资助项目 (G1 9990 331 0 2 ) |
| |
| 摘 要： | 封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器，在计算机模拟计算的基础上，对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试，得出实物测试场发射电流曲线（开启电压低，发射电流曲线与计算机模拟曲线一样，电压45V时发射电流可达到86mA，平均每个硅尖为21μA）、压力特性曲线（呈线性变化，与计算机模拟计算的曲线相近）及灵敏度数据。电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化，灵敏度为0.3μA/kPa。
|
| 关 键 词： | 真空微电子压力传感器 压力特性 测试 硅尖阵列－敏感薄膜复合型阴极 计算机模拟 |
| 文章编号： | 1007-2780(2002)01-0034-05 |
| 修稿时间： | 2001年8月26日 |
Testing for the Characteristic of Vacuum Microelectronic Silicon Tip Array-sensitive Thin Film Compounded Cathode Pressure Sensor |
| |
| CHEN Shao-feng,XIA Shan-hong.Testing for the Characteristic of Vacuum Microelectronic Silicon Tip Array-sensitive Thin Film Compounded Cathode Pressure Sensor[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2002,17(1):34-38. |
| |
| Authors: | CHEN Shao-feng XIA Shan-hong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | vaccum microelectronic pressure sensor simulative testing pressure feature testing |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
