| 一种新型图形发生器硬件方案的研究 |
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| 引用本文： | 张鹏,方光荣. 一种新型图形发生器硬件方案的研究[J]. 微细加工技术, 2003, 0(2): 12-16 |
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| 作者姓名： | 张鹏 方光荣 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工研究所，北京100080 |
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| 摘 要： | 介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案，该方案DSP处理器为核心，通过USB接口与上位机通讯，具有标记检测和曝光扫描两项基本功能，同时增加了圆形和圆环图形的处理功能。通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器，使各种图形硬件化，提高了图形的运算和处理速度，克服了以前图形发生器存在的许多弊端。
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| 关 键 词： | 图形发生器 电子束曝光系统 DSP 数字信号处理器 USB接口 硬件化 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)02-0012-05 |
| 修稿时间： | 2003-01-24 |
Research in Hardware Scheme of a New Pattern Generator |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | e-beam lithography system pattern generator DSP hardware |
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