软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析

随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要。国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素。对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论。