| 基于像散的光学元件厚度非接触测量研究 |
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| 作者姓名： | 李潇潇 张志恒 张效宇 曹杰君 曹兆楼 |
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| 作者单位： | 南京信息工程大学 大气海洋光学探测重点实验室,南京 210044;南京信息工程大学 物理与光电工程学院 光电工程系,南京 210044;南京信息工程大学 大气海洋光学探测重点实验室,南京 210044;南京信息工程大学 物理与光电工程学院 光电工程系,南京 210044;南京信息工程大学 大气海洋光学探测重点实验室,南京 210044;南京信息工程大学 物理与光电工程学院 光电工程系,南京 210044;南京信息工程大学 大气海洋光学探测重点实验室,南京 210044;南京信息工程大学 物理与光电工程学院 光电工程系,南京 210044;南京信息工程大学 大气海洋光学探测重点实验室,南京 210044;南京信息工程大学 物理与光电工程学院 光电工程系,南京 210044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;江苏省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题,采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统,并进行了理论分析和实验验证.该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度相关的椭圆光斑,基于实时图像处理获得元件厚度,具有较高的测量效率,最后使用商用玻璃平片及平凹透镜进行了测量实验.结果表明,该系统测量不确定度在置信概率95%时小于2μm,中心厚测量范围为25mm,能够满足目前一般加工公差要求;该装置操作简单、精度高、成本低,可用于测量透明及不透明材料,适用范围较广.该装置为企业提供了一种低成本、非接触、高精度的厚度测量方案,适合中小型光学加工企业使用,具有广阔的应用前景.
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| 关 键 词： | 测量与计量 非接触测量 像散 厚度测量 图像处理 |
| 收稿时间： | 2019-01-13 |
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