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脉冲电压幅值与电解液流动状态对无掩模定域性电沉积微镍柱的影响
作者姓名:钱宁开  吴蒙华  贾卫平  佐姗姗  王慧
作者单位:大连大学,大连大学,大连大学,大连大学,大连大学
基金项目:国家自然科学基金资助(项目号51875071)
摘    要:为探究脉冲电压幅值与电解液流动状态对无掩模定域性电沉积微镍柱的影响,采用体视显微镜和扫描电子显微镜SEM 对电沉积的微镍柱进行观察、检测,并计算了平均沉积直径和速率.在实验的基础上通过控制变量法研究了脉冲电压幅值与电解液流动状态对沉积微镍柱平均直径、平均沉积速率和表面形貌的影响.研究表明,当脉冲电压幅值在3.8~4.4...

关 键 词:脉冲电压幅值  电解液流动状态  无掩模  定域性电沉积  微镍柱
收稿时间:2020-05-19
修稿时间:2020-06-04
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