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| 42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究 | |
| 引用本文： | 于明晓,龙勇,石自彬,陈哲明,邹少红,丁雨憧.42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究[J].压电与声光,2023,45(1):26-28. |
| 作者姓名： | 于明晓 龙勇 石自彬 陈哲明 邹少红 丁雨憧 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060 |
| 摘 要： | 钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其半高全峰宽(FWHM)为28.4″,单晶性较好;采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试,居里温度偏差为4.4 ℃。声表面波性能测试结果表明,钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。 |
| 关 键 词： | 钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器 |
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