用于Ⅲ—Ⅴ族半导体多晶片生长的新型反应器期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

用于Ⅲ—Ⅴ族半导体多晶片生长的新型反应器

引用本文：	苏宇欢.用于Ⅲ—Ⅴ族半导体多晶片生长的新型反应器[J].电子材料快报,1999(8):18-18.

作者姓名：	苏宇欢

摘要：
关键词：	Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体生长反应器
本文献已被维普等数据库收录！