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| 基于激光干涉烧蚀的硅表面微纳结构制备研究 | |
| 引用本文： | 王子涵,王宝续,釜野腾,徐微微.基于激光干涉烧蚀的硅表面微纳结构制备研究[J].激光与光电子学进展,2019,56(16):238-244. |
| 作者姓名： | 王子涵 王宝续 釜野腾 徐微微 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室,吉林长春,130012;阿南工业高等专门学校,日本阿南,7740017 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 超快光学 干涉烧蚀 纳秒激光 周期性微纳结构 周期劈裂 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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