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| 高纯金属有机化合物(MO源)研制新进展 | |
| 引用本文： | 曾德辉,李刚.高纯金属有机化合物(MO源)研制新进展[J].化工新型材料,1992(10). |
| 作者姓名： | 曾德辉 李刚 |
| 作者单位： | 化工部光明化工研究所，化工部光明化工研究所 |
| 摘 要： | 高纯金属有机化合物(MO)可作为六类高新材料的原材料。MOCVD(金属有机化学汽相淀积)和CBE(化学分子束外延)工艺所需的MO源(Source)和掺杂剂是其主要用途之一。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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